场发射扫描电子显微镜

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    场发射扫描电子显微镜

    场发射扫描电子显微镜

      仪器型号:Sigma500。

      功能介绍:蔡司Sigma500肖特基场发射扫描电镜,其专利的 GEMINI 镜筒,采用先进的肖特基场发(SFE)源,内置电子束推进器(beam booster)和 In-lens 二次电子探测器,Gemini 物镜的设计结合了静电透镜和磁透镜,使对极具挑战的样品也能进行高品质成像,beam booster 技术具有镜筒内的电子加减速功能,可确保获得小束斑和高信噪比。Gemini 镜筒内探测器的设计可实现信号的高效采集,有效缩短了成像时间。配置Bruker双探头能谱仪,高计数而不需增加束流,尤其适合低计数和束敏感样品。

      技术参数/性能指标:

      l二次电子分辨率:0.8nm@15kV、1.3nm@1kV(减速模式下)

      l电子束加速电压:0.02~30kV,步进10V,连续可调

      l五轴优中心马达驱动样品台:移动XY方向最大移动范围:X=130mmY=130mm;R=360°(旋转)样品台Z方向最大移动范围:Z=50mm,双向倾斜,倾斜范围-4~70°

      l单张图片最大图像存储分辨率:32k*24k像素

      l能谱仪能量分辨率Energy resolution:129 eV Mn Kα,58 eV C Kα,66 eV F Kα

      l元素面分布分辨率:4096×4096

      测试项目:样品高分辨形貌成像、磁性样品拍摄、样品元素分析等。

      仪器状态:开放共享

      预约平台:http://atc.zicat.cn

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