光谱椭偏仪

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    光谱椭偏仪

    光谱椭偏仪

      仪器型号:RC2。

      功能介绍:椭偏仪是基于椭偏法的光学测量设备,工作在紫外、可见及近红外光谱段。可表征薄膜(块材)与光学常数相关的各类材料微结构特性,可测的样品包括块状材料、薄膜、在平面基底上生长或沉积的多层结构以及液体等。其应用包括:精确表征测试光谱范围上膜层及块材的光学常数(折射率n及消光系数k)、薄膜的厚度;通过对测量数据的分析,获得折射率梯度分布、光学常数各向异性、光学常数随温度的变化多种重要信息。

      技术参数/性能指标:

      l光谱范围:210 nm ~ 1690nm

      l光斑尺寸:普通光斑4 mm直径,微光斑 300 µm直径

      l量角器:45°~90°自动变角

      l变温台:-70 ℃ ~ 600 ℃

      l数据采集时间:2 s ~ 10 s(全光谱、单角度采集)

      l数据测试能力:Psi、Delta、4*4穆勒矩阵、透过率、反射率

      测试项目:薄膜的厚度及光学常数,变温光学常数研究,材料各向异性测量。

      仪器状态:开放共享

      预约平台:http://atc.zicat.cn

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